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ZYGO ZMI-4004 測量板 PDF資料 1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：中文資料：ZYGO ZMI-4004 是一款高精度測量板，主要用于干涉測量系統(tǒng)中，以實(shí)現(xiàn)納米級的位移測量和精確定位。ZYGO 公司專注于超精密測量和光學(xué)干涉技術(shù)，其 ZMI 系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)加工、計(jì)量和高