MKS AX8407 臭氧氣體發生器 PDF資料
1.產 品 資 料 介 紹：
中文資料：
MKS Instruments 的 SEMOZON? AX8407 是一款高濃度、高流量的臭氧發生器，采用無聲放電技術將純氧轉化為臭氧，具有高輸出和高濃度水平。該設備僅需極少量的氮氣摻雜，氮氧化物（NOx）排放極低，適用于半導體制造等高要求應用。
主要技術規格：
- 臭氧輸出：最高可達 335 g/Nm3
- 流量范圍：5 至 40 slm
- 原料氣體：
- 氧氣：6 級或更高純度 O?
- 氮氣：100 至 1000 ppm，5 級或更高純度 N?
- 腔室壓力：15 至 45 psig（100 至 310 kPa）
- 冷卻水溫度：5 至 25°C
- 控制方式：前面板控制和遠程操作
- 電源要求：208 VAC（±10%），三相，無中性線，15A，50/60 Hz
- 尺寸：483 × 445 × 267 mm（寬 × 深 × 高）
- 重量：59 kg（130 磅）
應用領域：
AX8407 主要用于半導體制造，包括：
- 化學氣相沉積（CVD）
- 光刻膠去除
- 晶圓清洗
- 先進封裝和顯示面板制造
該設備以其高效、低污染的特性，成為高科技制造工藝中可靠的臭氧氣源。
英文資料：
SEMOZON from MKS Instruments ? AX8407 is a high concentration, high flow ozone generator that uses silent discharge technology to convert pure oxygen into ozone, with high output and high concentration levels. This device requires only a minimal amount of nitrogen doping and has extremely low nitrogen oxide (NOx) emissions, making it suitable for high demand applications such as semiconductor manufacturing.
Main technical specifications:
Ozone output: up to 335 g/Nm 3
Flow range: 5 to 40 slm
Raw material gas:
Oxygen: Grade 6 or higher purity O ?
Nitrogen: 100 to 1000 ppm, grade 5 or higher purity N ?
Chamber pressure: 15 to 45 PSI (100 to 310 kPa)
Cooling water temperature: 5 to 25 ° C
Control mode: front panel control and remote operation
Power requirements: 208 VAC (± 10%), three-phase, no neutral wire, 15A, 50/60 Hz
Size: 483 × 445 × 267 mm (width × depth × height)
Weight: 59 kg (130 pounds)
Application areas:
AX8407 is mainly used in semiconductor manufacturing, including:
Chemical Vapor Deposition (CVD)
Photoresist removal
Wafer Cleaning
Advanced packaging and display panel manufacturing
This device, with its high efficiency and low pollution characteristics, has become a reliable source of ozone gas in high-tech manufacturing processes.
2.產 品 展 示
3.其他產品
4.其他英文產品
AMAT 0190-66253 Communication Module
| PMA45N-00100-00 | AMAT 0100-09302 | PFTL 101AE-0.5 |
| PMA44R-1050B-08 | AMAT 0100-00055 | PFTL 101BER-20.0KN |
| PMA44R-10100-00 | AMAT 0100-A1201 | PFTL 201DE-100.0KN |
| PMA44R-00100-00 | AMAT 0100-35069 | PFTL 201CE-10.0KN |
| PMA44P-00100-00 | AMAT 0100-35213 | PFTL 101AER-2.0KN |
| PMA44N-01100-00 | AMAT 0100-14003 | PFTL 301E-0.2 |
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